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布线结构和电光装置的制造方法、电光装置和电子设备制造方法及图纸
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下载布线结构和电光装置的制造方法、电光装置和电子设备的技术资料
文档序号:3210179
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一种布线结构的制造方法,其特征在于,具备: 形成具有第1层和被层积在上述第1层之上的第2层的布线的工序; 从上述布线之上开始通过蚀刻对第3层进行图案形成使得至少覆盖上述布线的侧壁并且使上述第2层的上面的一部分露出的工序;以及 ...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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