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周期结构宽带隙半导体氧化锌薄膜的制备方法技术
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文档序号:3210132
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周期结构宽带隙半导体ZnO薄膜的制备法是一种半导体薄膜材料的制备及先进紫外激光器材料的构建方法,该法先用溶胶-凝胶法制备SiO#-[2]微球,然后用垂直浸渍法制备SiO#-[2]微球的蛋白石结构模板,最后用化学沉积法制备周期结构ZnO薄膜。...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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