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提供可在维持良好的研磨速度的同时降低对研磨对象物的摩擦力的研磨用组合物。通过本发明提供的研磨用组合物包含水、磨粒及作为氧化剂的复合金属氧化物。上述研磨用组合物还包含阴离子性聚合物。一些优选方式中，上述研磨用组合物包含高锰酸盐作为前述复合金属...
该专利属于福吉米株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过福吉米株式会社授权不得商用。

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