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一种红外检测器在具有空腔的盖板中有一个窗口，用以将检测器像素暴露给入射辐射。所述窗口具有以支柱区的形式形成在空腔内的减反射元件。在空腔中形成支柱结构区的方法是：首先将支柱刻蚀成所需图案，然后在整个区域进行一般刻蚀以便形成所述空腔。...
该专利属于霍尼韦尔国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过霍尼韦尔国际公司授权不得商用。

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