【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及热成像，更具体地说，涉及用于封装红外检测器阵列的结构和方法。背景可以通过以非冷却辐射热测量器像素阵列或其电输出信号可以转换为可视图像的其它检测器来接收由热的物体发出的红外辐射来实现夜视和相关的应用。半导体衬底上的非冷却辐射热测量器阵列或类似的检测器必须加以封装以保护检测器像素不受污染和退化。由于阵列的正面必须暴露在入射的辐射之下，故许多传统的集成电路封装技术并不适用。封装盖板可以用能透射红外线的材料(例如硅)来制造，为检测器阵列提供窗口。在盖板上微切削加工出一个空腔，以便将盖板密封到支撑所述阵列的衬底上。将密封的空腔抽气，产生真空，以保护阵列像素以及它们在衬底上的电路。红外光元件的高折射率导致很大的插入损耗。许多传统的红外检测器封装采用减反射层或涂层，以将插入损耗减少到更可接收的水平。但当光元件是在空腔中形成的窗口时，在空腔中涂敷有效的减反射元件就很困难。除了许多这类涂层所要求的高温会使性能降低外，要在凹陷的表面(例如空腔)获得均匀性也很困难。概要按照本专利技术的红外检测器在具有空腔的盖板中有一个窗口，用以使一个或多个检测器像素暴露给入射辐射。...
【技术保护点】
一种封装盖板，它具有用以接纳红外检测器的空腔和用以将红外辐射透射到所述检测器的窗口区域，所述空腔内所述窗口区域的内表面具有这样成形和隔开的支柱区、以便形成对于透射过所述窗口区域的红外辐射的减反射元件。
【技术特征摘要】
US 2000-12-29 09/751,6111.一种封装盖板，它具有用以接纳红外检测器的空腔和用以将红外辐射透射到所述检测器的窗口区域，所述空腔内所述窗口区域的内表面具有这样成形和隔开的支柱区、以便形成对于透射过所述窗口区域的红外辐射的减反射元件。2.如权利要求1所述的盖板，其特征在于所述支柱从在所述空腔底面下面的基底平面向上竖立。3.如权利要求2所述的盖板，其特征在于所述支柱的顶部与所述空腔的底面齐平。4.如权利要求1所述的盖板，其特征在于所述支柱是在所述空腔底面下面的凹下的孔。5.如权利要求1所述的盖板，其特征在于所述盖板是硅晶片。6.如权利要求5所述的盖板，其特征在于所述空腔具有大约0-500μm的深度。7.如权利要求6所述的盖板，其特征在于所述空腔具有大约10-100μm的深度。8.如权利要求5所述的盖板，其特征在于所述空腔被周边区环绕。9.如权利要求1所述的盖板，其特征在于所述支柱形成具有两个正交方向的对称的图案。10.如权利要求1所述的盖板，其特征在于所述支柱为方形。11.如权利要求1所述的盖板，其特征在于所述支柱为直立圆柱。12.如权利要求11所述的盖板，其特征在于所述支柱的直径在大约1μm到10μm范围内。13.如权利要求12所述的盖板，其特征在于所述各支柱的间距小于大约6μm。14.如权利要求1所述的盖板，其特征在于所述支柱具有非垂直的侧壁。15.如权利要求14所述的盖板，其特征在于所述支柱基本上是棱锥体。16.如权利要求14所述的盖板，其特征在于所述支柱基本上是圆锥体。17.如权利要求1所述的盖板，其特征在于所述支柱具有大约0.2μm和大约4μm之间的高度。18.如权利要求1所述的盖板，其特征在于所述支柱排列成间距相等的行和列。19.如权利要求18所述的盖板，其特征在于所述行和列的间距小于大约6μm。20.如权利要求1所述的盖板，其特征在于所述盖板的外表面在窗口区域具有减反射涂层。21.如权利要求20所述的盖板，其特征在于所述减反射涂层包括另一个支柱区，所述支柱这样成形和隔开、以便形成减反射元件。22.一种红外检测器，它包括像素阵列，用以随入射的红外辐射而产生电信号；用于支撑所述阵列的衬底；封装盖板，它具有在空腔范围内的一个窗口，用以将所述辐射透射到所述阵列；具有一些隔开的支柱的区域，用以减少所述红外辐射在所述窗口上的反射。23.如权利要求22所述的检测器，其特征在于还包括用于把所述盖板的周边区域与所述衬底结合的密封件。24.如权利要求23所述的检测器，其特征在于所述空腔被抽真空。25.如权利要求22所述的检测器，其特征在于所述支柱的顶部基本上与所述空腔表面齐平。26.如权利要求22所述的检测器，其特征在于所述支柱的底部位于所述空腔表面的水平之下。27.如权利要求22所述的检测器，其特征在于所述像素阵列是辐射热测量器的矩形阵列。28.如权利要求22所述的检测器，...
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