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一种支撑装置，适用于化学气相沉积机台中，在反应炉内支撑基板用，本发明的目的在于提供一种能够减少对基板造成刮伤的支撑装置，从而提高产能以及提高合格率，其基座与支撑部分离的设计，可根据不同的工作环境选择最适合的材料来制作支撑部，不需要整体使用同...
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