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抛光目标晶片１１通过抛光头１２保持，并与抛光头１２一起旋转。通过使用粘结剂或双面胶带等粘结的方法将抛光体１４固定至抛光元件１３。如图２（ｂ）所示，抛光体１４通过层叠软元件１５、硬弹性元件１６和抛光垫１７构成。硬弹性元件１６的构造使其在抛光过...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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