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镜装配构件、使用它的位置计测用镜和曝光装置制造方法及图纸
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下载镜装配构件、使用它的位置计测用镜和曝光装置的技术资料
文档序号:32099050
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一种镜装配构件,包含棱柱状或棱筒状的陶瓷结构体,作为外侧面,具备用于与被接合面接合的接合面、和相对于被接合面倾斜的斜面,斜面是用于装配反射膜的装配面,该反射膜用于反射从光源出射的光,接合面中,具备沿着结构体的纵长方向延长的多个第1凹槽、和与...
该专利属于京瓷株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过京瓷株式会社授权不得商用。
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