镜装配构件、使用它的位置计测用镜和曝光装置制造方法及图纸

一种镜装配构件，包含棱柱状或棱筒状的陶瓷结构体，作为外侧面，具备用于与被接合面接合的接合面、和相对于被接合面倾斜的斜面，斜面是用于装配反射膜的装配面，该反射膜用于反射从光源出射的光，接合面中，具备沿着结构体的纵长方向延长的多个第1凹槽、和与该第1凹槽交叉的多个第2凹槽。第1凹槽在两端开口，第2凹槽中，位于光由所述反射膜反射这一侧的端部被密封而形成。密封而形成。密封而形成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】镜装配构件、使用它的位置计测用镜和曝光装置


[0001]本专利技术涉及用于装配例如在曝光装置中用于衬底载台的位置计测的反射膜的镜装配构件和使用此镜装配构件的位置计测用镜、以及曝光装置。

技术介绍

[0002]历来，使用激光干涉仪和反射镜，计测搭载衬底的载台位置的方法，在浸润曝光装置等的电子束曝光装置中被使用(专利文献1)。
[0003]在这样的曝光装置中，如图5所示，具备衬底载台100，所述衬底载台100具有保持衬底101的衬底卡盘(未图示)、和包围衬底101的包围构件102。衬底载台100，在包括经由投射光学系统对衬底101进行曝光的曝光区域和对衬底101进行计测的计测区域在内的区域内可以移动，由控制机构控制驱动。
[0004]为了准确计测衬底载台100的位置，在专利文献1中提出有一种浸润曝光装置，其将斜面镜103安装于装配在衬底载台100侧面的镜104上。即，由未图示的干涉仪照射的光轴被斜面镜103引导到衬底载台100上部，经固定在衬底载台100的上方的标准镜(未图示)反射，从标准镜折返的光轴，由斜面镜103反射而回到干涉仪本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种镜装配构件，其特征在于，包含棱柱状或棱筒状的结构体，作为外侧面，具备用于与被接合面接合的接合面、和相对于所述接合面倾斜的斜面，所述斜面是用于装配反射膜的装配面，所述反射膜用于反射从光源出射的光，所述接合面具备：沿着所述结构体的纵长方向延伸的多个第1凹槽、和与该第1凹槽交叉的多个第2凹槽，所述第1凹槽，在两端开口，所述第2凹槽，至少位于光由所述反射膜进行反射一侧的端部被密封而成。2.根据权利要求1所述的镜装配构件，其中，所述结构体由40℃～400℃下的平均线膨胀系数均为
±2×
10
－6
/K以内的陶瓷或玻璃形成。3.根据权利要求1或权利要求2所述的镜装配构件，其中，所述第2凹槽，两端被密封而成。4.根据权利要求1至权利要求3中任一项所述的镜装配构件，其中，在所述接合面中，位于与所述结构体的纵长方向交叉的横宽方向中央部的所述第1凹槽的宽度，比位于所述中央部的两侧的其他的所述第1凹槽的宽度窄。5.根据权利要求1至权利要求4中任一项所述的镜装配构件，其中，多个所述第1凹槽，相对于所述接合面的纵长方向的中心线以镜面对称配置而成。6.根据权利要求1至权利要求5中任一项所述的镜装配构件，其中，多个所述第1凹槽，在所述接合面的横宽方向上以等间隔配置而成。7.根据权利要求1至权利要求6中任一项所述的镜装配构件，其中，多个所述第2凹槽，相对于所述接合面的横宽方向的中心线以镜面对称配置而成。8.根据权利要求1至权利要求7中任一项所述的镜装配构件，其中，多个所述第2凹槽，在所述接合面的纵长方向上以等间隔配置而成。9.根据权利要求1至权...

【专利技术属性】
技术研发人员：井上彻弥，
申请(专利权)人：京瓷株式会社，
类型：发明
国别省市：