下载制造带有锥形平顶侧壁膜的半导体设备的方法的技术资料

文档序号:3209830

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一种制造半导体设备的方法,依次包括以下步骤:    在底层绝缘膜上淀积金属导电膜;    依次在所述金属导电膜上淀积第一和第二绝缘膜;    对所述第一和第二绝缘膜进行构图,以具有基本相同的构图区域;    从所述第一绝缘膜有选择地腐蚀所述...
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