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制造带有锥形平顶侧壁膜的半导体设备的方法技术
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文档序号:3209830
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一种制造半导体设备的方法,依次包括以下步骤: 在底层绝缘膜上淀积金属导电膜; 依次在所述金属导电膜上淀积第一和第二绝缘膜; 对所述第一和第二绝缘膜进行构图,以具有基本相同的构图区域; 从所述第一绝缘膜有选择地腐蚀所述...
该专利属于尔必达存储器株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过尔必达存储器株式会社授权不得商用。
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