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一种薄层基板移载用吸附垫，用于吸附薄层基板，其特征在于：由具有环形侧壁的有底桶状体构成，该桶状体在底部的局部形成有吸引孔，所述侧壁部的前端形成为前方收窄的锥状。...
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