下载用于薄膜晶体管的多晶硅薄膜和使用该多晶硅薄膜的器件的技术资料

文档序号:3209742

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本发明涉及一种用于薄膜晶体管(TFT)的多晶硅薄膜和采用它制造的器件,其中,通过提供一种TFT的多晶硅薄膜、和TFT采用该多晶硅薄膜的器件,来改善TFT和器件的均匀性,该多晶硅薄膜的特征在于,对于互相垂直设置的晶体管TR1和TR2而言,最大...
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