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本发明目的在于在基板上形成层间绝缘膜，与现有技术相比以短时间固化该层间绝缘膜。本发明在对基板进行处理的方法中，通过在处理室内对涂布形成在基板上的层间绝缘膜照射电子射线，使该层间绝缘膜固化。...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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