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用于在一个对象上进行数字光刻的一种方法，所述方法包括以下步骤：　　　　把一个第一象素曝光于所述对象的一个第一地点上；　　　　把所述对象重新定位，从而使一个第二象素与所述第一地点相对准；以及　　　　把所述第二象素曝光于所述对象的所述第一地点上...
该专利属于鲍尔半导体公司所有，仅供学习研究参考，未经过鲍尔半导体公司授权不得商用。

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