温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种干燥装置，其特征在于：具备：　　　　具有将在表面具有液膜或液滴状的处理液的基板向一个方向输送的输送路径的输送装置；　　　　配置在所述输送路径的近旁为了使所述处理液向输送方向的上游侧移动，朝基板的表面送出干燥用气体的送风装置；　　　　接触...
该专利属于阿尔卑斯电气株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过阿尔卑斯电气株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。