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一种用于光刻装置的对准系统，包括：　　　　具有第一波长和第二波长的对准辐射源；　　　　检测系统，包括第一波长通道和第二波长通道，设置第一波长通道接收所述对准标记第一波长处的对准辐射，设置第二波长通道接收来自所述对准标记第二波长处的对准辐射；...
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