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提供一种具有即使在真空室和处理单元之间存在连通管时也有良好的可维护性的结构的真空处理装置。对被处理基板(Sw)的处理面实施规定的真空处理的真空处理装置(SM)，其具有：真空室(Pc3)，其设置有被处理基板，以处理面所朝的方向为上方，在上壁形...
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