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具有非对称厚电极的BAW谐振器制造技术
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下载具有非对称厚电极的BAW谐振器的技术资料
文档序号:32094114
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一种谐振器电路器件。该器件可以包括压电层,所述压电层具有在空间上被配置在压电层的相反侧的正面电极和背面电极。每个电极具有连接区域和谐振器区域。每个电极还包括被配置在其连接区域附近的部分质量负载结构。正面电极和背面电极在空间上以非对称的方式配...
该专利属于阿库斯蒂斯有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过阿库斯蒂斯有限公司授权不得商用。
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