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文档序号:32093446

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一种研磨设备(1),包括滚筒(2)、围绕滚筒(2)的圆周表面的至少一部分的可移动研磨表面(4)以及围绕滚筒(2)安装的多个处理腔室(5)。每个处理腔室(5)具有上游面(53)和下游面(54),上游面(53)和下游面(54)界定面向滚筒(2)...
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