下载半导体基材及其制作方法的技术资料

文档序号:3209344

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种半导体基材,所述基材包括:    低掺杂基材(5,11,16,30),其杂质浓度低;    在低掺杂基材(5,11,16,30)顶面形成的高掺杂扩散层(9;14↓[1],14↓[2];19↓[1],19↓[2];33↓[1],33↓[2...
该专利属于东芝陶瓷股份有限公司、株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过东芝陶瓷股份有限公司、株式会社东芝授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。