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一种半导体基材,所述基材包括: 低掺杂基材(5,11,16,30),其杂质浓度低; 在低掺杂基材(5,11,16,30)顶面形成的高掺杂扩散层(9;14↓[1],14↓[2];19↓[1],19↓[2];33↓[1],33↓[2...该专利属于东芝陶瓷股份有限公司、株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过东芝陶瓷股份有限公司、株式会社东芝授权不得商用。
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一种半导体基材,所述基材包括: 低掺杂基材(5,11,16,30),其杂质浓度低; 在低掺杂基材(5,11,16,30)顶面形成的高掺杂扩散层(9;14↓[1],14↓[2];19↓[1],19↓[2];33↓[1],33↓[2...