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本实用新型公开一种盒装晶圆检测的结构，包括固定在工作台上的第一直线导轨和第二直线导轨，第一直线导轨和第二直线导轨上的滑块上固定有检测放置盒，还包括搬运装置，第一直线导轨上方固定有芯片晶圆缺陷检测相机，第一直线导轨的上方还固定有合格芯片校正相...
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