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具有垂直超薄体晶体管的可编程存储器的寻址和译码器电路制造技术
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下载具有垂直超薄体晶体管的可编程存储器的寻址和译码器电路的技术资料
文档序号:3209302
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本发明提供用于可编程存储器的寻址和译码器电路的结构和方法。存储器寻址和译码器电路包括多条地址线和多条输出线,由此地址线和输出线形成一个阵列。多个垂直柱体在输出线和地址线交叉处从半导体衬底向外延伸。每个柱体包括由氧化层分隔的单晶的第一接触层和...
该专利属于微米技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过微米技术有限公司授权不得商用。
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