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半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:3209291
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一种半导体器件,其特征是包括: 衬底表面上设置杂质区; 在该杂质区的周端部设置的高浓度杂质区; 贯通所述杂质区的多个槽式构造的第1晶体管; 以及在所述第1晶体管外周,与所述高浓度杂质区接近,设置比所述第1晶体管还深的...
该专利属于三洋电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三洋电机株式会社授权不得商用。
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