下载改善接触孔图案化的方法的技术资料

文档序号:3209246

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本发明提供一种改善接触孔图案化的方法,该方法中采用的液晶显示面板包含有一衬底,一导电层设于该衬底表面,以及一介电层设于该导电层表面。本发明首先于该介电层表面形成一光致抗蚀剂层,且该光致抗蚀剂层内包含有一孔洞通达至该介电层表面,接着进行一蚀刻...
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