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本实用新型公开了一种用于抛光半导体基材的软性抛光垫，包括抛光垫本体，所述抛光垫本体底部设有抛光基板，所述抛光垫本体与抛光基板之间设有粘结层，所述抛光垫本体通过粘结层与抛光基板固定连接，所述抛光垫本体底部设有定位块。本实用新型通过在抛光垫本体...
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