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去除深沟渠剑山的方法技术
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下载去除深沟渠剑山的方法的技术资料
文档序号:3209115
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一种去除深沟渠剑山的方法,是用以去除在一晶片上制作深沟渠时所产生的剑山,其特征在于,包括以下步骤: 于该晶片正面覆上一光阻层; 对该晶片洗边至一特定范围以裸露该剑山; 对该晶片进行一第一蚀刻制程,该第一蚀刻制程是为一湿式蚀...
该专利属于华邦电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华邦电子股份有限公司授权不得商用。
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