下载去除深沟渠剑山的方法的技术资料

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一种去除深沟渠剑山的方法,是用以去除在一晶片上制作深沟渠时所产生的剑山,其特征在于,包括以下步骤:    于该晶片正面覆上一光阻层;    对该晶片洗边至一特定范围以裸露该剑山;    对该晶片进行一第一蚀刻制程,该第一蚀刻制程是为一湿式蚀...
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