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一种研磨垫整理装置，适用于研磨半导体晶片的化学机械研磨设备中，其特征在于，包括：　　　　一研磨垫，具有一相反电极设置于该研磨垫内；　　　　一研磨垫整理器，具有一研磨盘及一研磨支撑架，且该研磨垫整理器内设置有一电极；以及　　　　一偏压产生器，...
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