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一种提高化学增强光致抗蚀剂分辨率的方法，此方法包括：在基片上形成化学增强光致抗蚀剂的凸图像，其中此凸图像具有第一尺寸的特征；以及用酸性水溶液接触此凸图像足够时间，以有效地将凸图像的第一尺寸降到第二尺寸。...
该专利属于国际商业机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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