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文档序号:3208992
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一种半导体制造方法,包括如下步骤: 形成穿过原硅酸四乙酯(TEOS)玻璃层和其下的中间层的开口,该开口向下延伸到含硅材料的露出表面以及该开口暴露包括该TEOS玻璃层和该中间层的侧壁的该开口的侧壁; 在该开口的侧壁上形成覆盖该TE...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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