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在快速热处理系统中，一排加热灯可发出用于将半导体基片例如半导体晶片加热到选定温度或设定温度的辐射热，且同时灯被固定在一个封闭的腔内。一个或多个透光罩单独或成组地环绕加热灯，从而将加热灯与腔内环境和位于腔内的一个或多个晶片隔离开。透光罩可包括...
该专利属于马特森技术公司所有，仅供学习研究参考，未经过马特森技术公司授权不得商用。

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