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本发明提供了用于在微机械系统中保护互连线的方法和装置。该互连线被设置在一块基板上，用于从例如一个结合区到一个机械部件传导电信号，以便使该机械部件按照需要运动。一个第一保护涂层被设置在互连线的第一部分之上，一个第二保护涂层被设置在互连线的第二...
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