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用于施加应力图形的隔离结构制造技术
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下载用于施加应力图形的隔离结构的技术资料
文档序号:3208902
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一种用于在衬底中形成的器件的隔离结构,该器件各自具有纵向和横向,该结构包括: 用于器件中的第一个器件的第一隔离区,在该第一隔离区中具有第一隔离材料,该材料沿纵向和横向对器件中的第一个器件施加第一种类型的机械应力。...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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