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一种用于在电子器件制造过程中原位监控和分析参数的方法，包括以下步骤：　　　　提供带有对置的窗口的压力容器，该对置的窗口用于将红外光束传输进容器中和从容器中输出，光束通过容器内部；　　　　提供要在容器中处理的工件；　　　　提供在容器中的用于处...
该专利属于国际商业机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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