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一种形成多晶硅层的方法，其包括：　　　　形成一非晶硅层；　　　　对该非晶硅层进行预处理，使该非晶硅层的表面氧化成氧化硅层或氮化成氮化硅层；以及　　　　使该非晶硅层结晶而形成一多晶硅层。...
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