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铁电薄膜及其形成方法技术
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文档序号:3208704
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本发明提供一种形成铁电薄膜的组合物,利用该组合物形成的铁电薄膜,及形成该铁电薄膜的方法。该组合物包含PZT溶胶-凝胶溶液和Bi↓[2]SiO↓[5]溶胶-凝胶溶液。PZT溶胶-凝胶溶液包括铅(Pb)前体的全部或部分水解产物及Pb前体的全部或...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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