下载一种光伏硅片表面蚀刻设备的技术资料

文档序号:32086856

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本实用新型公开了一种光伏硅片表面蚀刻设备,涉及光伏设备技术领域,包括蚀刻箱和支架,支架焊接在蚀刻箱的上方,蚀刻箱的内部开设有蚀刻间和对流间,蚀刻间位于对流间的正上方,蚀刻间内部的顶面均匀开设有若干个通孔,支架的左右两端均嵌接有电动推杆,左右...
该专利属于上海亘今精密机电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海亘今精密机电科技有限公司授权不得商用。

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