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一种掩模，其特征在于：　　　　具有：　　　　板状体，包括掩模图形部和ｐｎ结部、　　　　电流供给部，为上述ｐｎ结部供给电流；　　　　通过向上述ｐｎ结部通电，产生珀耳帖效应，能够控制上述掩模图形部的温度。...
该专利属于罗姆股份有限公司、株式会社东芝所有，仅供学习研究参考，未经过罗姆股份有限公司、株式会社东芝授权不得商用。

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