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一种膜处理方法，其特征在于，包括：　　　　处理工序，将电子束发射到被处理表面的膜上，以处理所述膜；　　　　电流测量工序，在所述处理工序中，在所述被处理体的附近捕捉电子束而作为电流值进行测量；　　　　检测工序，根据按时间对所述电流值积分所得的...
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