下载具有轻掺杂漏区/偏移区(LDD/OFFSET)结构的薄膜晶体管的技术资料

文档序号:3208634

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一种薄膜晶体管(TFT),包括轻掺杂漏区(LDD)或偏移区,其中,薄膜晶体管形成为使得多晶硅衬底的主晶粒边界不位于LDD区或偏移区。...
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