下载薄膜晶体管阵列衬底及其制造方法的技术资料

文档序号:3208609

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一种制作薄膜晶体管阵列衬底的方法,包括:    在衬底上形成一个缓冲层;和    在缓冲层中安置杂质离子;和    在缓冲层上形成一个象素电极和一个包括半导体层的薄膜晶体管。...
该专利属于LG.菲利浦LCD株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过LG.菲利浦LCD株式会社授权不得商用。

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