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提供到真空等离子体处理腔内的等离子体的ＲＦ功率量响应存储于计算机存储器中的信号以预编程为基础逐渐改变。计算机存储器存储信号从而在产生逐渐变化时其它处理腔参数（压强、气体种类和气流速率）保持恒定。所存储的信号使得蚀刻出倒圆的边角而非锐利的边缘...
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