下载内连线结构及其形成方法的技术资料

文档序号:3208566

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一种内连线结构,其特征在于,包含:    一第一介电层;    一第一金属层位于该第一介电层中;    一类金属化合物层位于该第一金属层上;及    一冠状层位于该类金属化合物层上。...
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