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一种半导体装置，在晶片的边缘区域中的图案密度低于中心区域中的图案密度，其包括：　　　　多个条型图案，其以一预定距离配置在该晶片的该中心区域中；　　　　多个虚设图案，其形成在该边缘区域内；以及　　　　多个连接图案，用于互相耦合该等条型图案中至...
该专利属于海力士半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过海力士半导体有限公司授权不得商用。

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