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结晶掩模、非晶硅结晶方法及利用其制造阵列基板的方法技术
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下载结晶掩模、非晶硅结晶方法及利用其制造阵列基板的方法的技术资料
文档序号:3208528
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一种非晶硅的结晶方法,用于制造具有薄膜晶体管、像素电极和对准键的阵列基板,其包括: 在基板上方形成非晶硅层; 在所述的非晶硅层中形成对准键; 预制包括图形部分和对准键图形的掩模,所述的图形部分对应于薄膜晶体管; 将所...
该专利属于LG.菲利浦LCD株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过LG.菲利浦LCD株式会社授权不得商用。
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