下载结晶掩模、非晶硅结晶方法及利用其制造阵列基板的方法的技术资料

文档序号:3208528

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种非晶硅的结晶方法,用于制造具有薄膜晶体管、像素电极和对准键的阵列基板,其包括:    在基板上方形成非晶硅层;    在所述的非晶硅层中形成对准键;    预制包括图形部分和对准键图形的掩模,所述的图形部分对应于薄膜晶体管;    将所...
该专利属于LG.菲利浦LCD株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过LG.菲利浦LCD株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。