下载固态压阻式耐高温压力传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:3208499

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本发明提供了一种固态压阻式耐高温压力传感器及其制作方法,该传感器包括基座1,玻璃环2,SIMOX硅杯结构压阻芯片3,电路转接板4,压焊引线5,上盖6及连接电缆7;基座1与被测压力容器或管道相连接。玻璃环2与基座1和SIMOX硅杯结构压阻芯片...
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