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一种单轴机循环稳定注液装置，该装置包括铁笔、铁笔座、夹具、工件、抛光模、水槽、一级滤芯、二级滤芯、第一储液槽、三级滤芯、节流阀、水管、泵、出水口、叶轮、第二储液槽及圆管。本实用新型采用多级过滤和双桶静置的方式保证了抛光液粒度的均匀性，解决了...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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