单轴机循环稳定注液装置制造方法及图纸

一种单轴机循环稳定注液装置，该装置包括铁笔、铁笔座、夹具、工件、抛光模、水槽、一级滤芯、二级滤芯、第一储液槽、三级滤芯、节流阀、水管、泵、出水口、叶轮、第二储液槽及圆管。本实用新型专利技术采用多级过滤和双桶静置的方式保证了抛光液粒度的均匀性，解决了抛光液粒度分布不均匀导致的加工表面质量不稳定的问题，提高了抛光液的颗粒均匀度，提高了光学元件加工质量。本实用新型专利技术的使用成本低、使用寿命长、容易实现，并且能有效地延长注液时间，实现了单轴机循环稳定的注液，适合单轴机长期使用，节约人工成本，提高了加工效率和生产效率。提高了加工效率和生产效率。提高了加工效率和生产效率。

【技术实现步骤摘要】
单轴机循环稳定注液装置


[0001]本技术涉及抛光液滴加装置，特别是一种单轴机循环稳定注液装置。

技术介绍

[0002]随着现代科学技术的飞速发展，很多领域对光学元件的表面质量提出了越来越高的要求，因此对光学加工的性能的要求也日益提高。单轴机作为传统光学加工的设备，单轴机可加工平面元件亦可加工球面、非球面元件，其加工光学元件加工尺寸小到毫米级、大到米级，加工尺寸范围覆盖范围广；单轴机可以完成光学元件的磨砂、粗抛光和精抛光，加工工序可覆盖成型后的所有加工工序。因此单轴机在现今的光学加工生产中有着举足轻重的地位。
[0003]单轴机抛光主要采用的是化学机械抛光，它涉及到抛光液的选择和抛光工艺的优化。在实际生产过程中，尽管单轴机用抛光液的量比环形抛光机少，但是绝大多数抛光液是浪费掉的，因此引入循环过滤注液装置，专利201310150439.8介绍了这种装置，但是在循环抛光过程中，由于产物沉积，抛光液pH值波动，抛光粉团聚等引起了抛光液粒度分布不均匀，导致了抛光后光学元件表面粗糙度增加、划痕增加。

技术实现思路

[0004]本技术提本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单轴机循环稳定注液装置，其特征在于该装置包括铁笔(1)、铁笔座(2)、夹具(3)、抛光模(5)、水槽(6)、一级滤芯(7)、二级滤芯(8)、第一储液槽(9)、三级滤芯(10)、节流阀(11)、水管(12)、泵(13)、出水口(14)、叶轮(15)、第二储液槽(16)及圆管(17)；所述铁笔(1)放置在所述铁笔座(2)中，所述铁笔座(2)固定在所述夹具(3)上，工件(4)通过固定在所述夹具(3)上，所述铁笔(1)进行摆动从而带动所述夹具(3)和所述工件(4)摆动；所述抛光模(5)由电机带动自转，所述水槽(6)放置在所述抛光模(5)的下方，用来承接抛光液，所述水槽上有一个开口，抛光液流经所述一级滤芯(7)和二级滤芯(8)，将流至所述第一储液槽(9)...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹俊，顿爱欢，吴伦哲，陈军，程鑫，嵇文超，吴福林，徐学科，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：新型
国别省市：