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在一种含有高浓度氮气的气氛中实现一个WN↓[x]膜24的形成,所述WN↓[x]膜24构成一个具有多金属结构的栅电极7A的阻挡层,从而在形成栅电极7A之后的热处理步骤中,抑制N(氮)从WN↓[x]膜24中的释放。...
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