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本实用新型提供一种过滤装置及光阻液涂布机,所述过滤装置包括:储蓄装置,包括第一腔室和第二腔室,所述第一腔室和所述第二腔室连通;过滤器,其设置在所述储蓄装置一侧;第一管道,其一端与所述第一腔室连通,所述第一管道的另一端与所述过滤器连通;第二管...该专利属于合肥晶合集成电路股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥晶合集成电路股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种过滤装置及光阻液涂布机,所述过滤装置包括:储蓄装置,包括第一腔室和第二腔室,所述第一腔室和所述第二腔室连通;过滤器,其设置在所述储蓄装置一侧;第一管道,其一端与所述第一腔室连通,所述第一管道的另一端与所述过滤器连通;第二管...