下载有高介电常数的电介质和厚电极的电容器及其制造方法的技术资料

文档序号:3208388

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提供一种有高介电常数的电介质和厚的下电极的电容器,使漏导电流减小。厚的下电极形成在层间绝缘层上。通常,层间绝缘层形成在半导体衬底上。下电极有顶面、底面和侧面,顶面与层间绝缘层相对。下电极顶面上形成与其接触的绝缘帽或覆盖层。绝缘帽或覆盖层覆盖...
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